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发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES MUSTERS IN EINER METALLSCHICHT.
摘要
申请公布号 DE3688627(T2) 申请公布日期 1993.11.04
申请号 DE19863688627T 申请日期 1986.04.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORP., KADOMA, OSAKA, JP 发明人 KANAZAWA, KUNIHIKO, TOYONAKA CITY, 560, JP;KAZUMURA, MASARU, TAKATSUKI CITY, 569, JP
分类号 H01L29/812;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/288;H01L21/311;H01L21/3205;H01L21/338;H01L21/48;H05K3/00;H05K3/10;H05K3/38;(IPC1-7):H01L21/312 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
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