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发明名称 AUTOMATISCHE KANTENSCHLEIFMASCHINE.
摘要
申请公布号 DE3688695(T2) 申请公布日期 1993.11.04
申请号 DE19863688695T 申请日期 1986.10.16
申请人 SILICON TECHNOLOGY CORP., OAKLAND, N.J., US 发明人 STEERE, ROBERT, BOONTON NEW JERSEY 07005, US;LEWANDOWSKI, THOMAS, WANAQUE NEW JERSEY 07465, US
分类号 B24B9/06;H01L21/304;(IPC1-7):B24B9/06 主分类号 B24B9/06
代理机构 代理人
主权项
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