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发明名称 VORRICHTUNG ZUM BESCHICKEN ODER ENTNEHMEN EINES WERKSTUECKES IN EINE ODER AUS EINER KAMMER FUER VAKUUMBEHANDLUNG.
摘要
申请公布号 DE3689083(D1) 申请公布日期 1993.11.04
申请号 DE19863689083 申请日期 1986.06.13
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 ARII, KATSUYUKI, TAMA-SHI TOKYO, 206, JP
分类号 B01J3/02;B01L1/04;H01L21/00;H01L21/677;H05K13/00;(IPC1-7):H05K13/00;H05K13/02;C23C14/56 主分类号 B01J3/02
代理机构 代理人
主权项
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