发明名称 DEVICE FOR THERMAL OXIDATION OF SILICIC PLATES
摘要
申请公布号 RU716178(C) 申请公布日期 1993.10.30
申请号 SU19782600228 申请日期 1978.04.04
申请人 GLUSHCHENKO V.N. 发明人 GLUSHCHENKO V.N.
分类号 C30B31/06;C30B29/06;(IPC1-7):C30B31/06 主分类号 C30B31/06
代理机构 代理人
主权项
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