PROCESS OF CHEMICAL-AND-MECHANICAL POLISHING OF SEMICONDUCTOR PLATES AND GLASS BLANKS,申请号SU19925041937-传众专利搜索

发明名称	PROCESS OF CHEMICAL-AND-MECHANICAL POLISHING OF SEMICONDUCTOR PLATES AND GLASS BLANKS
摘要
申请公布号	RU2002338(C1)	申请公布日期	1993.10.30
申请号	SU19925041937	申请日期	1992.05.14
申请人	TSENTRALNYJ NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT PLENOCHNYKH MATERIALOV I ISKUSSTVENNOJ KOZHI	发明人	VALEEV AJRAT F;ILLARIONOVA VALENTINA A;SIDORENKO IGOR V
分类号	H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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