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发明名称 FORMING METHOD OF MAGNESIUM OXIDE THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH05283401(A) 申请公布日期 1993.10.29
申请号 JP19920103528 申请日期 1992.03.30
申请人 发明人
分类号 C23C14/08;C23C14/24;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
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