发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH05281070(A) 申请公布日期 1993.10.29
申请号 JP19920079555 申请日期 1992.04.01
申请人 发明人
分类号 G01L11/00;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L11/00 主分类号 G01L11/00
代理机构 代理人
主权项
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