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发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH05283693(A) 申请公布日期 1993.10.29
申请号 JP19920103928 申请日期 1992.03.31
申请人 发明人
分类号 C23C14/22;C23C16/48;C30B25/02;H01L21/268;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/784 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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