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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05283705(A) 申请公布日期 1993.10.29
申请号 JP19920074534 申请日期 1992.03.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L21/76;H01L27/02;H01L27/04;H01L29/06;H01L29/10;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/784 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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