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发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05283429(A) 申请公布日期 1993.10.29
申请号 JP19920103555 申请日期 1992.03.30
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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