发明名称 SEMICONDUCTOR CARRIER
摘要
申请公布号 JPH05283503(A) 申请公布日期 1993.10.29
申请号 JP19920108904 申请日期 1992.03.31
申请人 发明人
分类号 B65G47/52;B65G47/80;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B65G47/52
代理机构 代理人
主权项
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