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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH05283376(A) 申请公布日期 1993.10.29
申请号 JP19920082027 申请日期 1992.04.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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