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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH05283374(A) 申请公布日期 1993.10.29
申请号 JP19920105281 申请日期 1992.04.01
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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