发明名称
摘要
申请公布号 JPH0543107(Y2) 申请公布日期 1993.10.29
申请号 JP19880089526U 申请日期 1988.07.07
申请人 发明人
分类号 C30B15/02;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/02 主分类号 C30B15/02
代理机构 代理人
主权项
地址