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经营范围
发明名称
FILM FORMATION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05283349(A)
申请公布日期
1993.10.29
申请号
JP19920103739
申请日期
1992.03.30
申请人
发明人
分类号
C30B25/12;H01L21/205;H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
C30B25/12
代理机构
代理人
主权项
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