发明名称 RESIST COATING DEVICE AND RESIST COATING METHOD
摘要
申请公布号 JPH05283330(A) 申请公布日期 1993.10.29
申请号 JP19920112235 申请日期 1992.04.03
申请人 发明人
分类号 B05C11/08;B05D1/40;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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