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发明名称
摘要
申请公布号 FR2044772(A1) 申请公布日期 1971.02.26
申请号 FR19700016529 申请日期 1970.05.06
申请人 PHILIPS GLOEILAMPEN 发明人
分类号 C23F1/02;C25F3/12;H01L21/00;(IPC1-7):H01L7/00 主分类号 C23F1/02
代理机构 代理人
主权项
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