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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0542980(Y2)	申请公布日期	1993.10.28
申请号	JP19880067826U	申请日期	1988.05.23
申请人		发明人
分类号	B65G57/18;B65G57/03;H01L21/68;(IPC1-7):B65G57/18	主分类号	B65G57/18
代理机构		代理人
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