发明名称 LASER SYSTEM WITH MIRRORS MOVED BY MICRO-ENGINEERING TECHNIQUES
摘要 <p>Die Erfindung bezieht sich auf ein Lasersystem mit einem oder mehreren aktiv kontrollierten Laserspiegeln, die mikromechanisch hergestellt und mit einer Manipulationsvorrichtung versehen sind, so daß eine schnelle Modulation von kleinen Laserspiegeln gewährleistet ist und diese Spiegel so konzipiert sind, daß sie eine wirtschaftliche Fertigung in großen Stückzahlen erlauben. Ausführungsbeispiele sind erläutert und in den Figuren der Zeichnung skizziert.</p>
申请公布号 WO1993021553(A1) 申请公布日期 1993.10.28
申请号 EP1993000829 申请日期 1993.04.03
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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