发明名称 DOPING METHOD OF BARRIER REGION IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP0430275(A3) 申请公布日期 1993.10.27
申请号 EP19900122948 申请日期 1990.11.30
申请人 SEIKO INSTRUMENTS INC. 发明人 AOKI, KENJI, C/O SEIKO INSTRUMENTS INC.;AKAMINE, TADAO, C/O SEIKO INSTRUMENTS INC.;SAITO, NAOTO, C/O SEIKO INSTRUMENTS INC.
分类号 H01L21/225;H01L21/336;H01L21/762;H01L29/06;H01L29/10;(IPC1-7):H01L21/225;H01L21/76;H01L29/784 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
地址