发明名称 A method of manufacturing semiconductor on insulator.
摘要
申请公布号 EP0419302(B1) 申请公布日期 1993.10.27
申请号 EP19900402260 申请日期 1990.08.07
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 FUJIOKA, HIROSHI
分类号 H01L21/76;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/322;H01L21/324;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
地址