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发明名称 OPTICAL PROJECTION EXPOSURE METHOD AND SYSTEM USING THE SAME
摘要
申请公布号 EP0507487(A3) 申请公布日期 1993.10.27
申请号 EP19920302512 申请日期 1992.03.24
申请人 NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORPORATION 发明人 MATSUO, SEITARO;TAKEUCHI, YOSHINOBU;KOMATSU, KAZUHIKO;TAMECHIKA, EMI;MIMURA, YOSHIAKI;HARADA, KATSUHIRO;HORIUCHI, TOSHIYUKI
分类号 G03F7/20;(IPC1-7):G03B27/53;G03F9/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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