发明名称 Device for dressing the cutting edge of a cutting-off tool for severing slices from an ingot or block-like workpiece, especially semiconductor material, use and sewing method for the same.
摘要
申请公布号 EP0432637(B1) 申请公布日期 1993.10.27
申请号 EP19900123400 申请日期 1990.12.06
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH 发明人 SEEBURGER, HELMUT, DIPL.-ING.;LEHFELD, PETER;KURTZE, WOLF-RUEDIGER, DIPL.-ING.
分类号 B24B53/00;B24D99/00;B28D5/00;B28D5/02;H01L21/304;(IPC1-7):B24B53/00 主分类号 B24B53/00
代理机构 代理人
主权项
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