发明名称 Method of selectively providing a metal from the liquid phase on a substrate by means of a laser.
摘要
申请公布号 EP0357124(B1) 申请公布日期 1993.10.27
申请号 EP19890202094 申请日期 1989.08.16
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 VAN DER PUTTEN, ANDREAS MARTINUS THEODORUS PAULUS;RIKKEN, JOHANNES MATHIAS GERARDUS;JACOBS, JOHANNES WILHELMUS MARIA;DE KORT, CORNELIS GERARDUS CLEMENS MARIA
分类号 C23C18/08;C23C18/14;H01L21/288;H01L21/3205;H01L21/768;H05K3/18;H05K3/22;(IPC1-7):C23C18/14;H01L21/90;H01L21/60;H01L21/320 主分类号 C23C18/08
代理机构 代理人
主权项
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