发明名称
摘要
申请公布号 JPH0577170(B2) 申请公布日期 1993.10.26
申请号 JP19850130008 申请日期 1985.06.17
申请人 CANON KK 发明人 SUWA HISAO;SUZUKI AKYOSHI;ISHAMA ICHIRO
分类号 H01L21/30;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/67;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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