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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0577170(B2)
申请公布日期
1993.10.26
申请号
JP19850130008
申请日期
1985.06.17
申请人
CANON KK
发明人
SUWA HISAO;SUZUKI AKYOSHI;ISHAMA ICHIRO
分类号
H01L21/30;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/67;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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