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发明名称 Improvements in performance sensing for integrated circuit chips.
摘要
申请公布号 EP0357532(B1) 申请公布日期 1993.10.27
申请号 EP19890480112 申请日期 1989.07.12
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 COX, DENNIS THOMAS;GUERTIN, DAVID LEROY;JOHNSON, CHARLES LUTHER;RUDOLPH, BRUCE GEORGE;TURNER, MARK ELLIOT;WILLIAMS, ROBERT RUSSELL
分类号 G01R31/28;G01R29/02;G01R31/30;G06F11/22;G11C29/00;G11C29/02;G11C29/56;H01L21/822;H01L27/04;H03K19/003;(IPC1-7):H03K19/003 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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