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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0577174(B2) 申请公布日期 1993.10.26
申请号 JP19850145560 申请日期 1985.07.02
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 EDA KAZUO;INADA MASAKI;OOTA TOSHIMICHI
分类号 H01L29/205;H01L21/331;H01L29/20;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/205
代理机构 代理人
主权项
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