DRY ETCHING METHOD,申请号JP19920076457-传众专利搜索

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发明名称	DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号	JPH05279876(A)	申请公布日期	1993.10.26
申请号	JP19920076457	申请日期	1992.03.31
申请人		发明人
分类号	C03C15/00;C23F4/00;H01B13/00;(IPC1-7):C23F4/00	主分类号	C03C15/00
代理机构		代理人
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