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发明名称 ION FORMATION
摘要
申请公布号 JPH05279850(A) 申请公布日期 1993.10.26
申请号 JP19930020821 申请日期 1993.01.14
申请人 发明人
分类号 C23C14/48;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):C23C14/48 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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