发明名称 METHOD FOR FORMING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH05279179(A) 申请公布日期 1993.10.26
申请号 JP19920103907 申请日期 1992.03.31
申请人 发明人
分类号 C01B13/14;C01B21/072;C01B33/02;C23C16/48;C30B25/02;H01L21/203;(IPC1-7):C30B25/02 主分类号 C01B13/14
代理机构 代理人
主权项
地址