发明名称 REGENERATION OF GALLIUM FOR LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPH05279177(A) 申请公布日期 1993.10.26
申请号 JP19920073838 申请日期 1992.03.30
申请人 发明人
分类号 C30B19/00;C30B29/02;H01L21/08;H01L21/208;(IPC1-7):C30B19/00 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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