发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05275692(A) 申请公布日期 1993.10.22
申请号 JP19920098797 申请日期 1992.03.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/339;H01L29/40;H01L29/423;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/784 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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