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发明名称 SHIELD BODY OF SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05275341(A) 申请公布日期 1993.10.22
申请号 JP19920100369 申请日期 1992.03.25
申请人 发明人
分类号 C23C14/34;C30B23/08;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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