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经营范围
发明名称
PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05275397(A)
申请公布日期
1993.10.22
申请号
JP19920102184
申请日期
1992.03.26
申请人
发明人
分类号
H01L21/30;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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