发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05275680(A) 申请公布日期 1993.10.22
申请号 JP19920070580 申请日期 1992.03.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/203;H01L29/205;H01S5/00;(IPC1-7):H01L29/205;H01S3/18 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址