发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH05275395(A) 申请公布日期 1993.10.22
申请号 JP19920102222 申请日期 1992.03.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址