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发明名称
摘要
申请公布号 JPH05275383(A) 申请公布日期 1993.10.22
申请号 JP19920334369 申请日期 1992.12.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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