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发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05275385(A) 申请公布日期 1993.10.22
申请号 JP19920098924 申请日期 1992.03.25
申请人 发明人
分类号 C23F4/00;C23C14/34;C23C16/509;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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