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经营范围
发明名称
ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY SYSTEM
摘要
申请公布号
JPH05275321(A)
申请公布日期
1993.10.22
申请号
JP19920066233
申请日期
1992.03.24
申请人
发明人
分类号
G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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