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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05275465(A) 申请公布日期 1993.10.22
申请号 JP19920071428 申请日期 1992.03.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/04;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L21/04
代理机构 代理人
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