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发明名称 FORMATION OF MULTILAYER INTERCONNECTION
摘要
申请公布号 JPH05275545(A) 申请公布日期 1993.10.22
申请号 JP19920100517 申请日期 1992.03.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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