| 发明名称 |
PROCEDE DE GRAVURE D'UNE COUCHE D'OXYDE METALLIQUE ET DEPOT SIMULTANE D'UN FILM DE POLYMERE, APPLICATION DE CE PROCEDE A LA FABRICATION D'UN TRANSISTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2640809(B1) |
申请公布日期 |
1993.10.22 |
| 申请号 |
FR19880016737 |
申请日期 |
1988.12.19 |
| 申请人 |
CHOUAN YANNICK;FAVENNEC JEAN LUC |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3105;H01L21/311;H01L21/312;H01L21/3213;H01L21/336;H01L29/45;H01L29/78;H01L29/786;H01L31/18;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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