电容式位移传感器

摘要

本实用新型提供一种新型电容式位移传感器，同时展宽发送电极和接收电极，发送电极的节距等于位移节距的整数倍，接收电极的节距等于位移节距的整数倍。通过信号相序的适当排列组合，彻底摆脱了电极节距和相移原有的固定关系。可以在不影响测量精度和分辨率的情况下降低加工要求，或者在相同的加工条件下提高测量的精度和分辨率。它既可用于测量线位移，也能用于测量角位移。

主权项

1、一种电容式位移传感器，其中电容器的两个电极相对排列，作为传感器的发送电极和接收电极，其特征在于：同时展宽发送电极片和接收电极片，其中，发送电极的节距P1等于位移节距W的整数倍M(M≥1的整数)，接收电极的节距等于位移节距W的整数倍N(N≥1的整数)，且M不等于N；发送电极的组数等于N的整数倍；接收电极片的宽度等于W/K的整数倍(K为发送电极组内的电极片数，K≥3的整数)，但不等于位移节距W的整数倍；供给发送电极片的信号相位与电极片前沿对应的展宽前发送电极片的相位一致。