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发明名称 PROCESSING METHOD WITH BEAM
摘要
申请公布号 JPS55141568(A) 申请公布日期 1980.11.05
申请号 JP19790047308 申请日期 1979.04.19
申请人 INOUE JAPAX RES 发明人 INOUE KIYOSHI
分类号 C23F4/00;C23F1/00;C23F4/02;C23F4/04 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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