发明名称 Annealing process and apparatus
摘要
申请公布号 GB2266064(A) 申请公布日期 1993.10.20
申请号 GB19920006084 申请日期 1992.03.20
申请人 * GEC-MARCONI LIMITED 发明人 JOHN * STOEMENOS
分类号 B29C71/02;B29K83/00;C08G77/32;C08J7/00;C23C26/00;H01L21/00;H01L21/20;H01L21/324;(IPC1-7):B05D3/02 主分类号 B29C71/02
代理机构 代理人
主权项
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