| 发明名称 |
Shuttle system for rapidly manipulating a workpiece into and out of an atmospherically controlled chamber. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0392704(B1) |
申请公布日期 |
1993.10.20 |
| 申请号 |
EP19900303380 |
申请日期 |
1990.03.29 |
| 申请人 |
CAMBRIDGE VACUUM ENGINEERING LTD. |
发明人 |
TRILLWOOD, RICHARD E. |
| 分类号 |
B23K15/06;H01J37/18;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):B23K15/00 |
主分类号 |
B23K15/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
