| 发明名称 |
METHOD OF PRODUCING CRYSTALLINE SILICON FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
RU1422957(C) |
申请公布日期 |
1993.10.15 |
| 申请号 |
SU19864094468 |
申请日期 |
1986.07.11 |
| 申请人 |
INSTITUT FIZIKI POLUPROVODNIKOV SO AN SSSR |
发明人 |
ROMANOV S.I. |
| 分类号 |
C30B33/04;C30B29/06;(IPC1-7):C30B33/04 |
主分类号 |
C30B33/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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