首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
ECR PLASMA ETCHING
摘要
申请公布号
JPH05266992(A)
申请公布日期
1993.10.15
申请号
JP19920058278
申请日期
1992.03.16
申请人
发明人
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
一种LED汽车装饰灯
一种齿圈成形锯切立式带锯床
大口径水表无线控制系统
一种球墨铸管的发运系统的控制方法
用于移动补偿的电子装置及移动补偿方法
一种显微超光谱层析三维成像装置
浏览器导航的实现方法、装置及浏览器
导管组件及其构件
远程管理的电能信息网络系统及其控制方法
一种用于企业数据统一平台的数据门户系统
一种增强X线防护的光子晶体防护玻璃及其制作方法
耐腐蚀复合电解电极的制作方法
纤维材料专用X射线衍射、散射分析装置
基于蓝牙技术的射频SIM卡及其应用系统
往复式压缩机
特别是活塞环的滑动元件及滑动元件与匹配运行元件组合
作为光聚合物制剂中的添加剂的氟代氨基甲酸酯
养殖螺旋藻的方法
一种可扩展的分布式WLAN网络用户认证方法
用于移动医疗或治疗装置的通信适配器