| 发明名称 |
PHOTOLITHOGRAPHIC METHOD AND COMBINATION INCLUDING BARRIER LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR930010219(B1) |
申请公布日期 |
1993.10.15 |
| 申请号 |
KR19850006445 |
申请日期 |
1985.09.04 |
| 申请人 |
MICROSI INC. |
发明人 |
WEST, PAUL R.;DAVIS, GARY C. |
| 分类号 |
G03F7/095;G03C1/00;G03C5/00;G03F7/09;G03F7/11;G03F7/26;H01L21/027;(IPC1-7):G03C11/06 |
主分类号 |
G03F7/095 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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