发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05267401(A) 申请公布日期 1993.10.15
申请号 JP19920064116 申请日期 1992.03.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/52;H01L21/58;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
地址